四點探針薄膜電阻量測儀(FPSR100)是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導體材料的電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱片電阻）。換上特製的四探針測試夾具，還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。儀器由主機、測試探頭、測試台等部分組成，測試結果由主機數位直接顯示。也可連接PC機由配套軟體在PC機上操作，其資料可由及Excel程式儲存分析數據和列印！主機主要由精密恒流源，高解析度 ADC、 嵌入式單片機系統組成，自動轉換量程。測試探頭採用高耐磨碳化鎢探針製成，故定位準確、遊移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智慧 化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。儀器適用於半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用於要 求快速測量中低電阻率的場合。
